本検査システムは、焦点寸法が約５μmと非常に微小なマイクロフォーカスＸ線装置を用い、微小な欠陥・異物等を最大100倍程度まで拡大撮影が可能な精密検査システムです。Ｘ線検出器にテレビモニターを組み合わせ、透視像をリアルタイムで観察できます。また、５軸マニュプレーターを装備しており、検査物内部をあらゆる角度から動かしながら立体的に透視観察することが可能です。
また、携帯式マイクロフォーカスＸ線装置を用いて、現場での精密検査にも適用しています。
適用例として、

（１） 各種小型精密部品の内部状況調査。
（２） 電子電気部品の断線状況調査。
（３） タービンブレードの検査。
（４） アルミニウム部品の内部きずの検査。
（５） 製品内部の異物調査。

あらゆる分野の透視可能な被検体に適用しています。